槽式超声波气相清洗机主要由超声波发生器(控制箱)、换能器、清洗缸、蒸馏回收系统、分水系统、冷冻系统、过滤系统、液位控制系统等组成,其中超声波发生器是产生电磁振荡信号并提供能量的工作部分,它可产生高于20KHZ的超声波电信号,提供给换能器;换能器把超声发生器所产生的电磁振动信号转化为换能器本身的 种超声振动,也就是把 种能量转换成另 种能量;清洗缸的主要作用是容纳清洗液和将要清洗的器件;蒸馏回收槽将溶剂蒸馏后重新利用;分水系统利用比重不同,液体互不相溶的原理,将溶液中的水分分离掉,使纯净的溶液补充到清洗槽内;冷冻系统在清洗槽和蒸汽洗槽的上部形成冷冻区,有效防止溶剂挥发,溶剂蒸汽在此区域转化成液体溶剂进行回收。另外,清洗的工件在此区域也能够迅速地被冷却干燥;过滤系统利用过滤循环将使用过的清洗液过滤再使用,从而降低生产成本;蒸汽槽液位可由液位控制系统控制液位